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代理德國Thyracont皮拉尼真空計VSP63赫爾納供應
公司簡介
Thyracont Vacuum Instruments GmbH（德國Thyracont真空儀器有限公司）是一家源于德國的真空測量設備制造企業。該公司始于1970年，致力于真空測量技術的開發和生產，其產品對許多未來技術做出了重要貢獻。Thyracont的業務涵蓋真空傳感器、真空計、真空開關、控制器及相關真空組件的供應，并為真空泵和真空處理設備制造商提供產品。其產品應用于流程工業、涂層、分析與研發以及半導體和太陽能等多個領域。
Thyracont主要產品類型
1. 真空計 (Vacuum Gauges)
2. 真空傳感器 (Vacuum Sensors)
3. 真空開關 (Vacuum Switches)
4. 控制器 (Controllers)
5. 數字真空表 (Digital Vacuum Meters)
6. 真空變送器 (Vacuum Transducers)
7. 真空系統控制器 (Vacuum System Controllers)
8. 配件和真空組件 (Accessories and Vacuum Components)
Thyracont主要型號
1. VSP63 系列 (皮拉尼真空傳感器/變送器，含VSP63D, VSP63DL, VSP63E, VSP63MV, VSP63MA4等型號)
2. VD8系列 (便攜式數字真空計，如VD81, VD83, VD84, VD85)
3. VSH系列 (冷陰極真空計)
4. VD6 (單通道真空顯示與控制單元)
5. VD12 (雙通道真空顯示與控制單元)
6. VRC (電子真空開關)
7. Smartline系列 (數字真空變送器，如VSP63D)
8. VD800 (緊湊型真空計)
代理德國Thyracont皮拉尼真空計VSP63產品介紹
VSP63是Thyracont公司生產的一款皮拉尼（Pirani）原理的真空傳感器/變送器，用于從粗真空到中真空范圍的絕對壓力（Absolute Pressure） 測量。該系列包含多種型號（如VSP63MV, VSP63MA4, VSP63D, VSP63DL, VSP63E），適配不同接口和功能需求。
技術參數
特性 | 參數值 |
測量原理 | 皮拉尼（Pirani），基于氣體導熱性，讀數取決于氣體類型 |
測量范圍 | 1000 – 1×10?? mbar (1000 – 0.0001 mbar) / 750 – 1×10?? Torr |
精度 | 1000-20 mbar: 約讀數的30%、20-0.002 mbar: 讀數的10% |
重復性 | 20-0.002 mbar: ±2% F.S. |
輸出信號 | VSP63MA4: 4-20 mA (兩線制，對數); VSP63MV: 0-10 VDC (對數, 測量范圍1.5-8.5 V); VSP63D/DL: 0-10 V & RS485; VSP63E: EtherCAT或Profinet |
供電電源 | VSP63MV/MA4: 15-30 VDC; VSP63D/DL/E: 20-30 VDC |
響應時間 | < 200 ms (VSP63MV/MA4) 或 < 100 ms (VSP63D系列) |
真空接口 | DN 16 ISO-KF 小法蘭 (VSP63MV/MA4/D/DL) 或 DN 16 CF-F (VSP64系列) |
接觸真空材料 | 不銹鋼 1.4307, 鎢, 鎳, 玻璃 |
過載保護 | 可達 10 bar (16 bar 可選 CERT31P) |
工作溫度 | +5 °C 至 +60 °C |
防護等級 | IP54 (VSP63MA4, VSP63E); IP40 (VSP63MV, VSP63D/DL) |
電氣連接 | VSP63MV: Hirschmann, 6針; VSP63MA4: M12 A, 5針; VSP63D/DL: Sub-D 15針; VSP63E: M12 |
重量 | 約 98 g (VSP63MV) |
工作原理
VSP63采用皮拉尼（Pirani）原理進行真空度測量。其核心是一個耐用的螺旋燈絲（通常是Elastic Pirani螺旋燈絲）。工作時，燈絲被加熱（部分型號采用脈沖加熱方式）。處于真空環境中的氣體分子濃度會影響燈絲的熱傳導效率：壓力越高（真空度越低），氣體分子越多，帶走的熱量越多，燈絲溫度降低，其電阻值相應變化；壓力越低（真空度越高），氣體分子越少，帶走的熱量越少，燈絲溫度升高，電阻向相反方向變化。通過微處理器檢測燈絲電阻的這種變化，并經過優化的溫度補償處理，即可計算出對應的壓力值。需要注意的是，該原理的測量結果依賴于氣體的導熱系數，因此讀數會受到測量氣體種類的影響。
優勢特點
1. 較寬的測量范圍與分辨率：能夠測量從1000 mbar到0.0001 mbar的寬范圍真空度，并在粗真空范圍內也具有較高的分辨率。
2. 結構設計與防護性：采用金屬密封的不銹鋼測量元件和堅固的金屬外殼，集成金屬篩網可防止油或溶劑蒸氣等污染燈絲，并具備較高的過壓保護能力（可達10 bar，可選16 bar）。
3. 測量穩定性與溫度補償：采用微處理器控制和優化的溫度補償技術，有助于減少環境溫度變化對測量結果的影響，提供較好的測量重復性。
4. 工業適用性與接口豐富：提供工業標準的模擬輸出信號（4-20 mA 或 0-10 V）或數字接口（如RS485, EtherCAT, Profinet），便于連接PLC或控制系統。部分型號傳感器頭可更換，維護便捷。
主要應用
VSP63真空傳感器可應用于多個需要真空測量與控制的領域，例如：
1. 真空鍍膜與涂層系統：用于監控鍍膜工藝過程中的真空度。
2. 真空爐與熱處理：用于真空爐中的壓力監控，確保工藝環境符合要求。
3. 冷凍干燥設備：用于監控冷凍干燥過程中的真空條件。
4. 泄漏檢測系統：用于檢測真空系統的密封完整性。
5. 分析儀器與過程工程：用于各類分析儀器（如質譜儀）和化工過程設備中的真空測量。
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