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代理德國Thyracont組合式真空計VSR53赫爾納供應
公司簡介
Thyracont Vacuum Instruments GmbH（德國Thyracont真空儀器有限公司）是一家源于德國的真空測量設備制造企業。該公司始于1970年，致力于真空測量技術的開發和生產，其產品對許多未來技術做出了重要貢獻。Thyracont的業務涵蓋真空傳感器、真空計、真空開關、控制器及相關真空組件的供應，并為真空泵和真空處理設備制造商提供產品。其產品應用于流程工業、涂層、分析與研發以及半導體和太陽能等多個領域。
Thyracont主要產品類型
1. 真空計(Vacuum Gauges)
2. 真空傳感器(Vacuum Sensors)
3. 真空開關(Vacuum Switches)
4. 控制器(Controllers)
5. 數字真空表(Digital Vacuum Meters)
6. 真空變送器(Vacuum Transducers)
7. 真空系統控制器(Vacuum System Controllers)
8. 配件和真空組件(Accessories and Vacuum Components)
Thyracont主要型號
1. VSR53系列 (組合式壓阻/皮拉尼真空變送器，含VSR53D, VSR53DL, VSR53E等型號)
2. VD8系列(便攜式數字真空計，如VD81, VD83, VD84, VD85)
3. VSH系列(冷陰極真空計)
4. VD6(單通道真空顯示與控制單元)
5. VD12(雙通道真空顯示與控制單元)
6. VRC(電子真空開關)
7. Smartline系列(數字真空變送器)
8. VD800(緊湊型真空計)
代理德國Thyracont組合式真空計VSR53產品介紹
VSR53是Thyracont公司生產的一款組合式壓阻（Piezo）和皮拉尼（Pirani）原理的智能數字真空變送器，用于從粗真空到高真空范圍的絕對壓力（Absolute Pressure）測量。
技術參數
特性 | 參數值 |
測量原理 | 壓阻式 (Piezo) / 皮拉尼 (Pirani) 組合傳感器 |
測量范圍 | 1200–1×10??mbar(約900–1×10??Torr) |
精度 | 1200-10mbar:±0.3%滿量程；10-2×10?3mbar:±10%讀數 |
響應時間 | < 30ms(壓阻部分,1200-10mbar)；<100ms(皮拉尼部分,10-2×10?3mbar) |
輸出信號 | 0-10VDC(對數輸出，測量范圍1.5-8.58V)；RS485串行接口；部分型號支持EtherCAT或Profinet |
供電電源 | 20– 30VDC |
真空接口 | DN16ISO-KF(VSR53系列) |
接觸真空材料 | 不銹鋼1.4307,鎢,鎳,玻璃,金,氧化硅 |
過載保護 | 可達4bar(絕對壓力) |
工作溫度 | +5°C至+60°C |
防護等級 | IP40(VSR53D/DL)或IP54(VSR53E，帶配套連接器) |
電氣連接 | Sub-D15針(VSR53D/DL)或M12連接器(VSR53E) |
重量 | 約195g(VSR53D)或220g |
工作原理
VSR53采用了組合傳感器技術，集成了壓阻（Piezo）傳感器和皮拉尼（Pirani）傳感器。壓阻傳感器基于壓阻效應，適用于較高壓力（粗真空）范圍，其測量結果與氣體類型無關。皮拉尼傳感器基于氣體導熱原理，適用于中低真空范圍，其測量結果會受氣體類型影響，但可通過可調氣體類型校正系數進行補償。內置的微處理器自動控制兩個傳感器之間的切換與數據融合，從而實現從大氣壓到高真空的寬范圍連續測量，并提供經過溫度和氣體類型補償的信號輸出。
優勢特點
1. 寬范圍測量與自動切換：結合壓阻和皮拉尼兩種原理，實現了從1200mbar到0.0001mbar的寬量程覆蓋，并能自動在不同真空度區間切換傳感器工作。
2. 測量性能與穩定性：在粗真空段（1200-10mbar）具有±0.3%FS的精度和±0.1%FS的重復性。采用優化的溫度補償技術，有助于保證測量的穩定性。傳感器探頭設計為可更換式。
3. 結構設計與防護：采用金屬密封的不銹鋼測量元件，適用于高真空（UHV）應用。金屬篩網可保護燈絲防止油或溶劑蒸氣污染。耐腐蝕的金屬外殼提供了IP54或IP40的防護等級，適應工業環境。
4. 接口豐富與集成便捷：提供多種輸出接口，包括模擬量（0-10V）、RS485數字接口，部分型號支持EtherCAT或Profinet現場總線，便于連接PLC和控制系統。提供兩個獨立的無電勢繼電器開關點，可用于過程控制或報警。
主要應用
VSR53真空變送器可應用于多個需要寬范圍真空測量與控制的領域，例如：
1. 分析儀器：用于質譜儀等精密分析儀器中真空度的監控。
2. 真空爐與熱處理：用于真空熱處理的壓力監控與控制。
3. 泄漏檢測：用于真空系統密封性的檢漏工作。
4. 過程工程：用于化工、制藥等流程工業中涉及真空過程的設備。
5. 真空系統的安全電路：作為真空系統安全聯鎖的一部分，監測壓力狀態。
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